外延片清洗用到的清洗機配置得有溢流槽與干燥槽。威固特VGT-1509FH超聲波清洗機共有15個功能槽，配置有循環過濾系統、浸泡系統、自動恒溫系統等等；

結構功能：獨立清洗槽，結構為四面鋸齒型溢流，進水口進水，溢流到排液口將液體排掉；槽體頂部有加熱管產后熱源，FFU往下吹風；

超聲波清洗機會通過超聲波發生器生成超聲波，超聲波是一種高頻聲波，頻率在人類聽覺范圍之外。

VGT-1307FH 紅外窗口超聲波清洗機為手動式超聲波清洗機，用于光學件（紅外鏡片，尤以直徑為 20-25 的窗口片為主）等零部件的超聲波清洗。

VGT-1507FS為光學玻璃超聲波清洗機，設備共有15個功能槽，配置有循環過濾系統、自動恒溫系統、拋動系統、超聲波清洗系統、抽風裝置、溢流系統等。

線性漸變濾光片超聲波清洗機設備優勢：

高精度表面清洗濾光片除需要有合理的清洗工藝和配置外，更需要良好的脫水效果。濾光片表面如果有任何垢點或積水點，最后都將導致鍍膜失敗。